超並列電子ビーム描画装置の開発

超並列電子ビーム描画装置の開発
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  • 発売日: 2018年6月5日 火曜日 - 発売中
  • 新刊発見日: 2018年05月03日

    • 在庫状況： 在庫あり

  • （2024年04月19日 21時54分 JST時点）
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  • 江刺 正喜/宮口 裕/小島 明/池上 尚克/越田 信義/菅田 正徳
  • 東北大学出版会
  • 価格： ￥3,300. (税込)
  • EAN： 9784861632969
  • Book 単行本
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